光電產品製造過程中VOCs的排放（fàng）

今天小編繼續為您（nín）介（jiè）紹在光電產品製造行業中，產生廢氣汙染的主要（yào）有五類產品的製造過程:半導體集成電路、TFT-LCD、LED、印製電路板(PCB)、電子終端產品。這（zhè）幾個也是芭乐视频APP污廢（fèi）氣處理經常（cháng）麵（miàn）對的。

①半導體集成電路製造（zào）過程中VOCs的（de）排放半導體製造工藝中VOCs主要來源於光刻、顯影工序，在這些（xiē）工（gōng）序中要用有機溶液(如異丙醇)對晶片表麵進行清洗，其揮發產生的廢氣是（shì）有機廢氣（qì）的來源之一。同時，在（zài）光（guāng）刻過程中使用的光（guāng）阻劑(光刻膠)中含盡有（yǒu）易揮發（fā）的有機溶劑，如乙酸丁酯等，在（zài）晶片處理（lǐ）過程中產生的有機廢（fèi）氣也要（yào）揮發到大術氣中。
   ②TFT-LCD製造過程中VOCs的（de）排放包括檢査和測試在內，TFT-LCD的製造生產製工（gōng）藝可達到（dào）100多道工序（xù），生產過程中使用多種化（huà）學有機溶劑和特殊氣體，產生的VOCc多量大，組分複雜。TFT液晶麵板生產排放VOCs汙染物的工（gōng）序主要集中（zhōng）在陣列工程和彩（cǎi）膜時（shí）工程兩大部分（fèn）。陣列（liè）工（gōng）程中的光刻(塗膠、曝光和顯（xiǎn）影)，以及彩（cǎi）膜（mó）工程中的黑色矩BM膜製造（zào）、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍，RGB)、保護膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是產生VOCs的主要產生（shēng）少量VOCs。TFT-LCD的製造過程中產生（shēng）的VOCs主要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙（yǐ）酸酯，這四種成（chéng）分占了全部VOCs量的90％以上。

③LED電子組件製造過程（chéng）中VOCs的排放LED電子組（zǔ）件生產產生的VOCs汙染物主要來源於基片處理和光刻，LED生產過程中產生VOCs的種類（lèi）主要有三氯乙烯（xī）、丙（bǐng）二醇醚酯、異丙（bǐng）醇、丙酮、丁（dīng）酮等（děng）。

④印製電路板(PCB)製造過程中（zhōng）VOCs的排放（fàng）在單麵、雙麵和多麵印製電（diàn）路板製（zhì）作工藝中，產生的VOCs工藝環節相對較集中，主要（yào）來源（yuán）於貼膜（mó）、烘幹、江、印（yìn）刷等工子（zǐ），VOCs排放種類主要有甲（jiǎ）醛、醇類(乙醇、異丙醇、丁醇、丙（bǐng）醇)、酮類(丁酮)、酯類劑的貯存過程（chéng）中也會有部分乙酸乙VOCs產生和排放。

⑤電子終端產品製造過程中VOCs的排放在電子（zǐ）終端產品製造中，VOCs的主要來源包括（kuò）電路板清洗劑有機廢氣(使用有機溶劑型清洗（xǐ）劑)、電路板三防噴漆廢氣、機売(機箱)噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來（lái）自工位上的（de）局部排風係（xì）統，特點是排風量大、濃度低。

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